蓝英装备：国产光刻机龙头。全球领先的清洗系统和表面处理设备提供商，为ZEISS提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案。
9月28日开盘消息，蓝英装备5日内股价上涨0.44%，今年来涨幅上涨45.09%，最新报18.120元，涨7.16%，市盈率为-95.37。
9月28日消息，蓝英装备9月28日主力净流入5378.33万元，超大单净流入5852.26万元，大单净流出473.93万元，散户净流出4186.43万元。
张江高科：国产光刻机龙头。公司全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子10.78%股份；上海微电子是国产光刻机龙头，已具备90nm光刻机的生产能力，并有望在国内率先实现28nm。
张江高科最新报价23.500元，7日内股价上涨6.89%；今年来涨幅上涨35.15%，市盈率为44.34。
资金流向数据方面，9月28日主力资金净流流入795.2万元，超大单资金净流出6039.02万元，大单资金净流入6834.22万元，散户资金净流入1441.67万元。
苏大维格：国产光刻机龙头。
9月28日消息，苏大维格7日内股价下跌3.2%，最新报26.860元，市盈率为-24.99。
资金流向数据方面，9月28日主力资金净流流入535.6万元，超大单资金净流出987.42万元，大单资金净流入1523.02万元，散户资金净流出1412.48万元。
国产光刻机概念股其他的还有：
奥普光电：9月28日消息，奥普光电今年来涨幅上涨15.69%，最新报38.300元，涨5.39%，成交额7.23亿元。
百川股份：9月28日开盘消息，百川股份最新报7.150元，成交量673.82万手，总市值为42.41亿元。
上海新阳：9月28日消息，上海新阳7日内股价下跌0.08%，截至15时，该股报36.390元，涨1.7%，总市值为114.04亿元。
数据仅供参考，不构成投资建议，据此操作，风险自担，股市有风险，投资需谨慎。