集成电路装备受益股的上市公司有：
（1）、广立微：
从公司近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为55.26%，过去三年营收最低为2021年的1.98亿元，最高为2023年的4.78亿元。
在近5个交易日中，广立微有2天上涨，期间整体上涨0.25%。和5个交易日前相比，广立微的市值上涨了2600万元，上涨了0.25%。
（2）、四川双马：
从四川双马近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为-0.18%，过去三年营收最低为2023年的12.19亿元，最高为2021年的12.24亿元。
近5个交易日，四川双马期间整体下跌0.47%，最高价为15.24元，最低价为14.36元，总市值下跌了5344.08万。
（3）、华海清科：
从公司近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为76.52%，过去三年营收最低为2021年的8.05亿元，最高为2023年的25.08亿元。
近5个交易日股价上涨5.34%，最高价为186元，总市值上涨了15.29亿。
（4）、普利特：
从近三年营收复合增长来看，近三年营收复合增长为23.27%，过去三年营收最低为2020年的44.48亿元，最高为2022年的67.58亿元。
持股25%理硕科技股权，截至20年8月，标的目前正处于产品研发阶段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻胶产品的企业；公司控股子公司上海普利特半导体材料投资了江苏影速集成电路装备1.27%的股权，该公司主要生产激光直写的光刻机设备，主要应用在PCB、FPC、HDI和集成电路掩膜板。
近5日普利特股价上涨1.99%，总市值上涨了2.34亿，当前市值为117.77亿元。2024年股价下跌-24.41%。
（5）、至纯科技：
从近三年营收复合增长来看，至纯科技近三年营收复合增长为22.96%，过去三年营收最低为2021年的20.84亿元，最高为2023年的31.51亿元。
公司于2020年8月17日晚发布非公开发行A股股票预案，拟向不超35名特定投资者发行不超78,005,377股，募资不超18.6亿元用于半导体湿法清洗设备扩产项目、半导体晶圆再生二期项目、光电子材料及器件制造基地建设项目和补充流动资金或偿还债务。半导体晶圆再生二期项目总投资6亿元，计划在原晶圆再生一期项目的基础上，进一步扩充晶圆再生项目产能。（已核准）公司于2021年8月24日晚公告，拟公开发行不超11亿元可转债，用于单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目、至纯北方半导体研发生产中心项目、集成电路大宗气体供应站及配套项目以及补充流动资金或偿还银行贷款。集成电路大宗气体供应站及配套项目总投资3.89亿元，项目将基于公司在大宗气站建设相关的技术和经验积累，为上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司12英寸集成电路研发制造生产线，建造大宗气体供应站及其配套设施。
近5日股价上涨3.42%，2024年股价上涨0.23%。