芯源微是去胶机概念股。
2021年报显示，芯源微实现净利润7734.95万元，同比增长58.41%。
沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)，产品可用于6英寸及以下单晶圆处理(如LED芯片制造环节)及8/12英寸单晶圆处理(如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节)。
回顾近30个交易日，芯源微下跌27.98%，最高价为264.99元，总成交量5990.84万手。
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