刻蚀设备行业概念股票有： 矩子科技、神工股份、捷佳伟创。
中微公司（688012）：截至收盘，中微公司涨0.29%，股价报130.320元，成交796.94万股，成交金额10.37亿元，换手率1.29%，最新A股总市值达803.09亿元，A股流通市值803.09亿元。
从公司近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为28.56%，过去三年ROE最低为2019年的6.71%，最高为2020年的12.11%。
公司2020年刻蚀设备收入增长约58.5%；由于市场原因，公司2020年MOCVD设备收入下降约38.5%。
神工股份（688233）：3月21日消息，神工股份开盘报49.11元，截至15点收盘，该股跌0.14%，报49.520元。换手率2.03%，振幅跌0.56%。
从近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为-13.35%，过去三年ROE最低为2020年的9.62%，最高为2019年的22.16%。
刻蚀设备用单晶硅电极材料龙头厂商。
北方华创（002371）：3月21日北方华创3日内股价上涨1.38%，截至收盘，该股报269.600元跌1.26%，成交21.47亿元，换手率1.56%。
从公司近三年ROE来看，近三年ROE复合增长为22.09%，过去三年ROE最低为2019年的8.01%，最高为2021年的11.94%。
国产半导体设备的绝对龙头，平台属性强。体量大；研发实力强属于国内一线；市占率领先，刻蚀设备国内市占率7%。产品线丰富，产品涵盖热处理、刻蚀、薄膜沉积（PVD、CVD）、清洗等设备。硅片设备-热处理设备-光刻设备-刻蚀设备-离子注入设备-薄膜沉积设备-抛光设备-清洗设备-检测设备
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