高纯工艺设备板块股票有：至纯科技。
6月16日晚间复盘消息，至纯科技（603690）涨1.57%，报34.900元，成交额4亿元。
6月16日消息，至纯科技资金净流入791.34万元，超大单净流入819.7万元，换手率3%，成交金额4亿元。
2022年报显示，至纯科技净利润2.82亿，毛利率35.36%，每股收益0.89元。
国内高纯工艺系统及半导体装备领域主流合格供应商，国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。
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