半导体量测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA。量测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。2021年，量测设备全球市场规模104亿美元，占WFE市场的11%，而刻蚀209亿美元占23%，薄膜沉积207亿美元占22%，光刻机171亿美元占19%。量测设备环节龙头KLA，2022自然年收入指引101.5-104.5亿美元，同比增长24%-28%
国内外半导体量测设备市场都被美日欧垄断。根据中科飞测招股说明书，2020年全球半导体量测设备主要被KLA、AppliedMaterials、日立高科技、Lasertec、Onto、ASML、Nova、Camtek等垄断；中国大陆市场同样被KLA、AppliedMaterials、日立高科技、Lasertec、ASML等垄断，其中美、日、欧的量测设备厂商份额分别不低于64%、11%、3%，美国厂商份额最高。
半导体量测设备国产化率低。根据精测电子最新投资者关系活动记录，在前道量测领域，本土生产线的国产设备供给率较低。2021年，国内量测设备龙头企业上海精测半导体、中科飞测销售收入分别为1.11亿元、3.61亿元。国产厂商的收入规模较小，国产品牌的市场份额偏低。根据中国国际招标网数据统计，本土产线量测设备仍主要依赖于KLA、Onto、应用材料等进口品牌。
量测设备的国产品牌蓄势待发。尽管相比刻蚀、PVD、CMP、清洗等环节，量测设备环节国产化率偏低，但我国涌现了一批优质的国产量测设备品牌，包括睿励、东方晶源、上海精测半导体、中科飞测、埃芯半导体、南京中安、御微半导体，而天准科技通过收购Muetec、赛腾股份通过收购Optima，布局量测业务。
精测电子布局多个量测设备，且获得重复订单。上海精测的膜厚产品、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单；明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单；OCD设备获得多家一线客户的验证通过，且已取得部分订单；半导体硅片应力测量设备也取得客户订单，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。截至2022年11月11日，精测电子公布子公司上海精测在过去12个月内中标某客户3.38亿元订单。
投资建议：建议关注半导体前道量测设备厂商中微公司、天准科技、赛腾股份、精测电子。
中微公司：参股的睿励科学仪器，主要产品包括光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等，2021年睿励销售收入0.41亿元。
精测电子：膜厚产品（含集成式膜厚产品）、电子束、明场晶圆有图形缺陷检测、OCD量测等设备产品和相关技术通过自主研发均实现技术突破，获得了国内一线客户的批量订单或验证通过。2021年上海精测销售收入1.11亿元。
天准科技：公司自主研发的精密测量仪器，测量精度达到0.3微米，与国际最先进同类产品精度相当。2021年公司收购德国MueTec100%股权，布局晶圆的OCD、Overlay等尺寸测量，以及晶圆的宏观和微观缺陷检测设备。22H1在半导体及泛半导体领域，实现营业收入2.2亿元。
赛腾股份：公司收购全球领先晶圆检测设备供应商日本OPTIMA，切入半导体业务，布局晶圆边缘检测、晶圆缺陷检测、晶圆正面/背面检测、针孔缺陷检测等。2021年公司半导体板块营收2.17亿，增速良好；毛利率高达45%，维持高位。
风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。