2022年尽管受到疫情、美国出口管制以及景气度下行等影响，半导体设备行业除光力科技外业绩预告整体表现优异，2023年有望维持快速增长。
北方华创：22年预计营收135.0-156.0亿元，同比+(39.4-61.1)%；归母净利润21.0-26亿元，同比+(94.9-141.3)%；扣非归母净利润19.0-24.0亿元，同比+(135.5-197.5)%。公司22年克服了疫情及供应链等不利因素的影响，电子工艺装备和电子元器件业务经营业绩均实现了持续增长。公司22年营收基本在预期区间之内，净利润中值略超预期。
中微公司：22年预计营收47.4亿元，同比+52.5%；归母净利润10.8-12.0亿元，同比+(6.8-18.6)%；扣非归母净利润8.6-9.4亿元，同比+(165.1-189.8)%。22年新签订单金额为63.2亿元，同比+53.0%。公司22年克服了疫情的不利影响，营收和新签订单预计同比+50%以上，等离子体刻蚀设备市场占有率不断提高，MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中，在蓝绿光LED生产线上取得了绝对领先的地位，新产品比如用于更先进微观器件制程的薄膜设备和刻蚀设备即将为公司高速和持续的销售增长做出贡献。
拓荆科技：22年预计营收16.5-17.2亿元，同比+(117.7-126.9)%；归母净利润3.3-4.0亿元，同比+(381.9-484.1)%；扣非归母净利润1.6-1.9亿元，同比扭亏为盈。公司22年销售订单大幅增加，营业收入维持高增长趋势，规模效应驱动公司盈利水平提高，营收和净利润超预期。
盛美上海：22年预计营收27.0-29.0亿元，同比+(66.6-78.9)%；归母净利润6.0-7.2亿元，同比+(125.4-170.4)%；扣非归母净利润6.2-7.4亿元，同比+(218.4-280.0)%；实现出货量38.8-39.6亿元，同比+(61.3-64.6)%。公司22年销售订单持续增长，新产品订单量稳步增长，综合毛利率有所提高，降本增效盈利水平持续提升。
芯源微：22年预计营收13.0-14.2亿元，同比+(56.9-71.4)%；归母净利润1.75-2.1亿元，同比+(126.3-171.5)%；扣非归母净利润1.2-1.5亿元，同比+(88.0-135.0)%。公司22年克服了疫情的不利影响，产品竞争力不断增强，新签订单规模同比大幅增长，小尺寸（如LED、化合物半导体等）及集成电路后道先进封装领域产品收入稳步增长，集成电路前道晶圆加工领域产品收入快速放量，营收和净利润符合预期。
华海清科：22年预计营收15.3-16.95亿元，同比+(90.1-110.6)%；归母净利润4.37-5.17亿元，同比+(120.4-160.8)%；扣非归母净利润3.42-4.0亿元，同比+(200.1-251.0)%。公司22年克服了疫情及供应链等不利因素的影响，CMP设备及配套服务、晶圆再生等实现了持续增长。
精测电子：22年预计归母净利润2.65-2.85亿元，同比+(37.8-48.2)%；扣非归母净利润1.05-1.25亿元，同比-9.67~+7.54%。公司22年虽受宏观经济增速放缓及新冠疫情的影响，但销售规模依然保持稳定增长态势。
长川科技：22年预计归母净利润4.5-5.2亿元，同比+(106.2-138.3)%；扣非归母净利润3.85-4.55亿元，同比+(99.0-135.2)%。尽管受行业景气度下行影响，公司22年高端品类收入占比持续上升，新产品持续研发，业务布局不断完善，下游核心客户对自主研发产品的需求旺盛进一步助力公司主营业务突破周期影响快速增长。
光力科技：22年预计归母净利润0.65-0.94亿元，同比-(20~45)%；扣非归母净利润0.54-0.64亿元，同比-(5~20)%。公司22年尽管受新冠疫情及需求端影响，仍逆势加大投资，扩充产能，增强市场开拓力度和提升市场服务水平。
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风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。